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潔凈室(無塵車間)及相關受控環境—按粒子濃度劃分表面潔凈度等級

潔凈室(無塵車間)及相關受控環境—按粒子濃度劃分表面潔凈度等級

 

SCP等級
粒徑
0.005 µm
0.1 µm
 
 
 
 
 
0.05 µm
5
 
 
 
 
 
0.001 µm
10µm
 
 
 
 
 
50 µm
100 µm
500µm
Scp1級
(200)
100
20
(10)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Scp2級
(2000)
1000
200
100
(20)
(10)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Scp3級
(20000)
10000
2000
1000
(200)
(100)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Scp4級
(200000)
100000
20000
10000
2000
1000
(200)
(100)
 
 
 
 
 
Scp5級
 
 
 
 
 
1000000
200000
100000
20000
10000
2000
1000
(200)
Scp6級
 
 
 
 
 
(10000000)
2000000
1000000
200000
100000
20000
10000
2000
Scp7級
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
10000000
2000000
1000000
200000
10000
20000
Scp8級
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
100000000
2000000
1000000
200000
#p#分頁標題#e#

 

表中的值是每1平方米的表面積上等于或大于關注數粒徑的離子濃度及SCP等級,括號內的數字,其對應的粒徑不應用于分級;選擇七大粒徑進行分級.
對較低SCP級別的分級,要有大量的測量結果以確立有效值.
 
潔凈室及相關受控環境——按納米粒子濃度劃分空氣潔凈度等級
按懸浮粒子濃度劃分空氣潔凈度等級擴展到納米尺度分級表

 

 
ISO 14644-12 粒徑范圍（NPC）
ISO 14644-1 粒徑范圍（APC）
 
0.001 µm
（1 nm）
0.005 µm
（5 nm）
0.01 µm
（10 nm）
0.05 µm
（50 nm）
0.1 µm
0.2 µm
0.3 µm
0.5 µm
1 µm
5 µm
1
145000 g
5080
1200
e
10e
e
e
e
e
f
2
1 450 000 g
50 800 
12 000
423
100
24 c
10e
e
e
f
3
14 500 000 g
508 000
120 000 b
4230
1000
237
102 b
35 e
e
f
4
145 000 000 g
508 000
1 200 000
423 00
10 000
2370
1020
352
83 e
f
5
d
50 800 000
12 000 000
4 23000
100 000
23700
10200
35 20
8 32
f
6
d
d
d
4 230 000
1000 000
237000
102000
35 200
8 320
293
7
d
d
d
d
d
d
d
35 200 0
8 320 0
2930
8
d
d
d
d
d
d
d
35 200 00
8 320 00
29300
9
d
d
d
d
d
d
d
35 200 000
8 320 000
293000
#p#分頁標題#e#

注：a）納米粒子濃度分級表必須與ISO 14644-1分級表配合使用。

    b）ISO-NPC 3級120 000個粒子是包括所有粒徑≥ 10 nm 粒子的累計濃度。ISO-APC 3級35個粒子是關注粒徑（considerd）≥ 0.5 µm 時，空氣中懸浮粒子的**大濃度限值（maximun concentration limit）。  
c）分級采樣量要大，見ISO 14644-1序貫采樣法。
   d）粒子濃度過高，限值不適用。 
 e）由于采樣和統計的局部性，該低濃度不適合于分級。
   f）由于在采樣系統中可能的粒子損失，使得低濃度和> 1 µm的粒徑不適合于分級。
   g）頒布時該粒徑計數超出當前儀器測量范圍，本欄供未來使用。
同一個潔凈度要求，潔凈室處于不同的占有狀態，其污染的程度不同：
(1)關注粒徑（Considered Particle Size）： 0.1 µm；0.2 µm；0.3 µm；0.5 µm；1 µm；5 µm。 0.1 µm~ 0.2 µm 12英寸芯片廠受控環境關注的粒徑。 0.2 µm~ 0.3 µm 為空氣過濾器**宜穿透粒徑 MPPS（Most penetrating particulate size）。0.5 µm~ 5 µm 與細菌的粒徑相近（GMP-2010，潔凈區懸浮粒子的關注粒徑為：0.5 µm；5 µm）。
 (2)G際上取得共識的“技術定義”是，ISO 5級——≥ 0.5 µm 的粒子**大濃度限值為3520個/m  3。空氣中的懸浮粒子為分散系，具有隨機性和不確定性；計量時引入統計學概率：95%置信上限（UCL, Upper confidence Limit）。 
(3)G內一些G家規范關于潔凈度的分級表述不確切，定為區間值： ISO 5級——≥ 0.5 µm的塵粒數為>350粒/m  3 到≤3500粒/m  3 。造成技術概念上的“混亂”。 
(4)ISO 潔凈度等級分為9個級別。ISO 1級（≥0.1 µm，10粒/m3）尚無工程應用；ISO 9級（≥0.5 µm，3520萬粒/m  3 ）工程中很少應用，GMP-98版中曾使用30萬級（≥0.5 µm，1050萬粒/m  3 ）。ISO 5級（≥0.5 µm，粒子**大濃度限值3520粒/m  3）相當于美聯邦標準FS 209百級（≥0.5 µm，粒子 **大濃度限值3530粒/m3，或100粒/ft3）。
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